장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
면저항측정기 (Sheet Resistance Meter)
모델명
FPP-RS20K
제작사(국가)
다솔이엔지(대한민국)
제작년도
용도
분석
분류
전자
취득일
..
장비설명
물질 및 재료의 전도성 척도를 일정한 단면적을 가진 체적에 일정한 전류를 흘려 떨어진 전극 간의 전위차를 측정하여 면저항 측정
Wafer 표면에 성장, 확산 및 Deposition된 층의 비저항 및 면저항 측정
장비구성

성능
4-point Probe 법에 의한 면저항(Rs)
Output : 1000 W
Rs = F(D/S) x F(t/S) x (V/I) (Ω/□ or Ω/sq.)
보정계수=탐침 간격에 대한 시료의 크기 및 두께
시료의 크기가 탐침 간격의 40배 이상인 경우의 보정계수 F(D/S) ≒ 4.5
시료의 두께가 탐침 간격의 40% 이하인 경우의 보정계수 F(t/S) = 1.0
비저항 : ρ= Rs × T
R : 저항(Ω), Rs : 면저항, T : 두께(cm)
비저항(ρ)의 단위 : Ω㎝
두께(t) = ρ/Rs (cm)
R station - 시료 Size = 200
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
건당
이용료
설치형태
고정
설치장소
기업지원연구동 (서면 금강로 7194)
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529882
팩스
0334529883
사용방법
온라인
 

주소: (24062) 강원특별자치도 철원군 서면 금강로 7194 (재)철원플라즈마산업기술연구원 TEL/033-452-9881~2 FAX/033-452-9883
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